真空在抽空工藝中的應用
就抽提工藝而言,真空的應用體現在哪些方面?
容器抽空,即抽除密封容器中的空氣或氣體,是真空為的應用之一。這類應用種類繁多。
所謂抽空,在多數環境空氣工業應用中,一般理解為排空物理空間內的氣體。當環境空氣或氧氣的存在對制造或測試工藝產生干擾時,常需要進行抽空。
根據應用的不同,對真空度的要求也不盡相同,從中央真空系統要求的低真空到半導體生產硅片涂層的高真空。
意大利DVP真空泵的哪些真空解決方案尤其適合抽空工藝?
容器抽空工藝應用范圍,相應地,此類真空泵產品也各式各樣。挑選真空獲得設備時,需要考慮的關鍵因素包括排氣體積以及要求達到的容器終壓力。基本上我們的真空泵都能達到此類要求。
L-C 旋片真空泵可用于許多不同的抽空工藝,因為其運行且堅固耐用,表現。
P-A 爪式真空泵無油無接觸運行,基本無需維護。這類節能型真空泵用于低真空抽氣工藝。
Edwards GXS螺桿真空泵適合抽除腐蝕性或爆炸性氣體。GXS真空泵采用無油螺桿,可以達到高真空度。
如果是高真空抽空工藝,赫哲真空建議采用由 L-C旋片泵 或 P-A無油爪式真空泵及EdwardsEH系列羅茨真空泵所組合而成的真空泵系統。適合高真空抽空的其它真空泵組合還包括渦輪分子真空泵和擴散真空泵。
意大利DVP真空在抽氣工藝中的常見應用范例:
?真空包裝——包裝腔體抽空(見"真空在包裝工藝中的應用")
?容器真空系統——真空容器長期保持真空度
?熱處理——真空爐抽空
?表面涂層——鍍膜室抽空
?模具排氣——鑄造質量優化
?空間模擬——空間模擬室抽氣
?傳送室——晶片生產
?工藝室——主要用于半導體生產